三坐标测量机做为一种精密的测量仪器，如果维护及保养做得及时，就能延长机器的使用寿命,并使三坐标测量仪的精度得到保障、故障率降低。为使客户更好地掌握和用好三坐标测量机，现列出三坐标测量机简单的维护及保养规程。
　一． 三坐标测量仪开机前的准备
　　　　　１．三坐标测量机对环境要求比较严格，应按合同要求严格控制三坐标测量机的温度及湿度.
　　　　　２．三坐标测量机使用气浮轴承，理论上是永不磨损结构，但是如果气源不干净，有油．水或
　　　　　　 杂质，就会造成三坐标测量仪的气浮轴承阻塞，严重时会造成三坐标测量仪的气浮轴承和气浮导轨划伤，后果严重。所以每天要检查三坐标测量仪机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意三坐标测量机机床气源前级空气来源，（空气压缩机或集中供气的储气罐）也要定期检查
　　　　　３．三坐标测量机的导轨加工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果三坐标测量仪导轨上面有灰尘或其它杂
　　　　　　 质，就容易造成三坐标测量仪气浮轴承和导轨划伤。所以每次打开三坐标测量机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汽油擦拭（120或180号汽油），花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
　　　　　４．切记在保养过程中不能给任何三坐标导轨上任何性质的油脂
　　　　　５．定期给三坐标测量机光杆、丝杆、齿条上少量防锈油
　　　　　６．在长时间没有使用三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和湿度(24
　　　　　　 小时以上)，在南方湿润的环境中还应该定期把三坐标测量机的电控柜打开，使电路板也得到充分的干燥，避
　　　　　　 免电控系统由于受潮后突然加电后损坏。然后检查三坐标测量机气源、电源是否正常
　　　　　７．三坐标开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。